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Quantum X无掩膜光刻系统

Nanoscribe的Quantum X是全球shou创双光子灰度无掩模光刻系统,适用于制造微光学衍射以及折射元件。

Quantum X提供了完全的设计自由度、高速的打印效率、以及增材制造复杂结构超光滑表面所需的高精度。

技术参数

为工业应用而生

  • 折射微光学元件-单个透镜或透镜阵列
  • 多层衍射光学元件 – 多达256个分立的或准连续的分层
  • 2.5维微光学快速手板成型制作
  • 批量制作微光学元件制作所需的聚合物母版
  • 小批量生产
  • 整片晶圆制造
打印技术 双光子灰度光刻(2GL)
三维横向特征尺度 160 nm 一般; 200 nm 定义*
二维横向分辨率 400 nm 一般; 500 nm 定义*
最佳竖直方向步长 10 nm, 形状达到准连续级别*
最小表面粗糙度 Ra ≤ 10 nm*
激光扫描速度 from 100 to 625 mm/s*
面积扫描速度 3 mm²/h (打印衍射光学元件时的速度)*
  • 折射微光学元件-单个透镜或透镜阵列
  • 多层衍射光学元件 – 多达256个分立的或准连续的分层
  • 2.5维微光学快速手板成型制作
  • 批量制作微光学元件制作所需的聚合物母版
  • 小批量生产
  • 整片晶圆制造