3D微纳加工设备
3D 打印技术,使其成为几乎任何 2.5D 和 3D 形状的快速原型制作和晶圆级批量处理的工具,并同时具备亚微米级的精度和准确度。
技术参数
- 具有 100 nm 特征尺寸控制的高速高分辨率 3D 微纳加工
- 广泛的基板和晶圆,最大可达 8 英寸
- 工业批量处理:200 种典型的中尺度结构可在一夜之间打印
3D 打印技术,使其成为几乎任何 2.5D 和 3D 形状的快速原型制作和晶圆级批量处理的工具,并同时具备亚微米级的精度和准确度。
技术参数
表面粗糙度 Ra | ≤ 5 nm |
最小特征尺寸 | 100 nm |
形状准确度 | ≤ 200 nm |
批量生产 | 200个标准结构的通宵产量 |
单打印场直径 | up to ≥ 4,000 µm |
最大扫描速度 | 6.25 m/s/透镜放大倍数
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*提供的数据可能因光刻胶及几何形状而有不同
双光子聚合技术(Two-Photon Polymerization, TPP)是一种基于飞秒激光的高精度微纳3D打印技术,通过双光子吸收效应实现亚微米级分辨率的复杂三维结构制造。其核心优势在于突破传统光刻技术的衍射极限,广泛应用于生物医学、微纳光学、柔性电子、机械超材料等领域。可以用来做任意形状的3D纳米聚合物结构,resolution在100nm左右,accuracy在300nm左右
以下是其主要应用方向及典型案例:
双光子聚合技术在生物医学中的应用尤为突出,主要体现在以下方面:
细胞行为研究:中国科学院沈阳自动化研究所于海波团队利用TPP制造了具有周期性微结构的机械超材料(如拉胀结构和Auxetic结构),模拟细胞外基质(ECM)的力学特性,研究人骨髓间充质干细胞(hMSCs)的排列、迁移等行为。实验表明,拉胀结构可引导细胞定向排列并促进迁移,为组织工程和药物筛选提供了新工具。
导电水凝胶支架:伊利诺伊大学芝加哥分校团队通过TPP直接打印PEDOT:PSS/PEO复合导电水凝胶,用于三维细胞支架。该材料兼具导电性和生物相容性,可支持人类诱导多能干细胞(hiPSC)的生长,在柔性电子和神经组织工程中潜力显著。
微型医疗机器人:结合4D打印技术,TPP可制造响应温度、光或磁场的微型机器人,用于靶向药物输送、微创手术和细胞操作。例如,磁性螺旋微型游泳器可通过旋转磁场实现精准导航,应用于微流体环境中的药物释放。
光子晶体与超材料:TPP能够制造具有周期性折射率变化的光子晶体,控制光的传播路径。例如,清华大学深圳研究院利用该技术制备高分辨率微光学器件(如光子晶体、激光分布反馈器件),应用于光通信和集成光子芯片。
微流控器件:通过TPP集成自由形式3D微流控结构,例如混合元件和传感器,用于生物芯片开发与物质分析。
高精度电子元件:普渡大学开发的新型TPP技术结合低功率飞秒激光与纳秒激光,显著降低制造成本,使3D打印导电微电容器、微线条等电子元件成为可能,推动微型传感器和柔性电子设备的发展。
自主移动微型机器人:通过TPP制造的仿生微型机器人(如仿尺蠖爬行器、光驱动微型步行者)可响应外部刺激,执行复杂任务,如环境监测和微型装配。
定制化力学性能材料:中科院团队通过TPP设计的拉胀结构和Auxetic结构,具有负泊松比特性,可模拟不同ECM力学环境,用于研究材料刚度对细胞行为的影响。
4D智能结构:结合形状记忆聚合物或液晶弹性体,TPP技术可实现微米级4D打印结构,例如仿生微型抓手、可变形支架,响应温度或光刺激实现形状重构,应用于微型执行器和防伪设备。
晶圆级批量生产:Nanoscribe公司的QuantumXshape系统基于TPP技术,支持6英寸晶圆上的高精度3D微纳加工,适用于微纳光学元件(如衍射光学器件)的批量制造,显著提升生产效率。
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